Фильтрация воздуха и газов при производстве микроэлектроники

Для подготовки сжатого воздуха и газов и предлагаем следующее оборудование:

• Корпусы магистральных фильтров и фильтрующие элементы различной степени удержания механических частиц, масла, аэрозолей.
• Циклонные сепараторы для удаления капельной влаги из сжатого воздуха.
• Осушители сжатого воздуха рефрижераторного типа, позволяющие получить воздух с точкой росы +3 °С.
• Адсорбционные осушителя сжатого воздуха с холодной или горячей регенерацией.
• Угольные колонны для глубокой очистки от масляных аэрозолей и защиты молекулярных сит генераторов азота и стерилизующих фильтроэлементов.
• Также мы предлагаем конденсатоотводчики и водо-масляные сепараторы.
• Мы предлагаем специальные корпусы и элементы для фильтрации кислорода с чистотой до 95%
• Решения для фильтрации азота
• Станции получения газообразного азота высокой степени чистоты из сжатого воздуха