Фильтрация особо чистых жидких и газовых сред при производстве микроэлектроники

В процессах производства микроэлектронных компонентов требуется использование большого количества сервисных сред с высокой степенью чистоты: воздуха, азота, кислорода, воды.

Специалисты ООО «ДФильтр» будут рады предложить оборудование, подходящее для получения сред высокой чистоты:

• Корпусы из нержавеющей стали AISI 316L c шероховатостью поверхности Ra 0,8 или 0,4 мкм, а также корпусы, полностью изготовленные из полимерных материалов
• Фильтрующие элементы для сжатого воздуха и газов, вентиляции ёмкостей, обеспечивающие удаление мельчайших частиц размером 10 нм и менее, а также бактерий и вирусов.
• Фильтрующие элементы для жидких сред на основе полимерных мембран широкой химической совместимости, изготовленные в чистых помещениях с контролируемым микроклиматом класса 8 по ИСО 14644-1, отмытые после изготовления в деионизованной воде с сопротивлением 18,2 МОм х см и прошедшие проверку на целостность методом точки пузырька, изменению дифференциального давления или удержанию давления.
• Капсулы в корпусе из 100% полипропилена с различными видами присоединений, полностью готовые к работе для фильтрации небольших объемов жидкости или для малых расходов газов. Фильтрующие материалы могут включать однослойные и многослойные гидрофильные или гидрофобные мембраны, подбираемые в зависимости от поставленной задачи.

Обращайтесь к нашим специалистам, и мы поможем с выбором решения, наиболее подходящего именно под Вашу текущую задачу.